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六氟化硫氣體檢漏儀其原理為空氣中含有的六氟化硫氣體濃度變化時(shí)，該混合氣體在高頻電磁場(chǎng)的作用下其電離的程度也將不同，通過(guò)檢測(cè)電離度即可反映六氟化硫濃度。